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等離子體刻蝕和LPCVD 真空泵常用那種類型?

等離子體刻蝕和LPCVD 真空泵常用那種類型?泵體中所含有毒有害廢氣有哪些?
提問者:網(wǎng)友 2017-01-28
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傳統(tǒng)采用的一般是水環(huán)式真空泵和旋片式真空泵,水環(huán)真空泵對氣體介質(zhì)要求低,但是體積較大,效率低且維護量大。漸漸的在光伏光電子行業(yè)已經(jīng)淡出。旋片真空泵體積小,造價很低,但是運行不穩(wěn)定,會帶來油污污染,且存在明顯機械摩擦,葉片損壞較快,氣量衰減快。近年有很多實力強的企業(yè)已經(jīng)開始采用一些品質(zhì)好的螺桿真空泵代替?zhèn)鹘y(tǒng)真空泵,螺桿真空泵運行較穩(wěn)定,系統(tǒng)內(nèi)有油污處理設(shè)備,維護周期長。缺點是國內(nèi)的螺桿真空泵廠家質(zhì)量還不過硬,國外產(chǎn)品價格較高,一次投資大。所以新建企業(yè)由于投資問題都選用便宜的旋片真空泵,在投產(chǎn)形成利潤后很多漸漸選用螺桿真空泵進行技改。
回答者:網(wǎng)友
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