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渦旋真空泵的發(fā)展
渦旋真空泵設計題報告所需要寫
問
提問者:網(wǎng)友
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2017-03-08
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渦旋概念相久遠20世紀初世界已經(jīng)渦旋技術專利由于技術水平限制渦旋機構制造渦旋概念淡忘1973渦旋機構重新提起并制造第臺模型機構使項技術實際應用能渦旋機構靠性高、運行平穩(wěn)、噪音極低、節(jié)省能源等潛力巨優(yōu)勢馬引起冰箱行業(yè)重視迫切需求受行業(yè)領先者青睞迅速投入工業(yè)化應用今渦旋技術已經(jīng)由初期應用壓縮機行業(yè)推廣真空泵制造業(yè)實現(xiàn)全油、運行更平穩(wěn)、噪音更低、更加節(jié)省能源渦旋清潔真空獲技術實用化2、渦旋油真空泵(0-Ifreescrollvacuumpump)特點與應用領域 清潔真空環(huán)境直科家企業(yè)界追求理想真空環(huán)境自能夠創(chuàng)造真空環(huán)境始試圖采用同手段達清潔真空效至今清潔真空獲設備已經(jīng)發(fā)展冷凝泵、柱賽泵、爪式泵、渦旋泵及隔膜泵等種產品現(xiàn)油真空泵渦旋油真空泵與其種類油真空泵相比具運行平穩(wěn)、噪音低、節(jié)省能源、重量輕、體積特點并已經(jīng)廣泛應用述科研究與產領域:①半導體行業(yè)--薄膜制備設備、半導體器件封裝設備;②真空冶金行業(yè)--真空爐、納米材料制備設備、真空檢測設備;③科儀器行業(yè)--同步輻射光束線、電顯微鏡、析測試儀器;④醫(yī)療設備--牙科儀器、透析機;⑤物制品行業(yè)--材料提純、藥品制備;⑥包裝行業(yè)--食品、藥品、物制品等包裝設備 3、渦旋油真空泵工作原理、技術指標及與普通油泵比 渦旋油真空泵渦旋盤端與平面相接或幾漸線螺旋形渦旋型盤狀結構靜渦旋盤與渦旋盤組渦旋盤付構渦旋油真空基本抽氣機構例雙級渦旋油真空泵兩向應固定渦旋盤位于兩渦旋盤間轉渦旋盤、靜渦旋盤相運形容積斷變化新月形真空腔使氣體抽氣口吸入、排氣口排、完排氣循環(huán)4、渦旋油真空泵優(yōu)點及其能給用戶解決問題 4.1渦旋油真空泵性能優(yōu)越:渦旋真空泵主要優(yōu)點間隙曉、泄漏少具較高壓縮比較寬陋力范圍內穩(wěn)定抽速工作壓力范圍寬;由于壓縮腔容積變化市連續(xù)驅扭矩變化功率變化振噪聲低靠性高其類型干式真空泵所具備 4.2渦旋油真空泵解決污染與振等基礎、共性問題:由于普通旋片油泵漏油、噪聲、返油污染、高能耗及振等問題給用戶造良影響物制品行業(yè)與半導體行業(yè)油蒸汽污染與工藝系統(tǒng)返油閥題真空鍍膜設備鍍膜工藝20~40Pa真空條件鍍膜應用普通旋片機械真空泵作前級真空泵鍍膜工藝設備造污染影響膜量半導體晶片制造工藝使用油泵與使用干泵相比品率存509l左奮涸差距并且排油霧蒸汽環(huán)境污染科儀器行業(yè)尤其析試儀器行業(yè)采用油泵測試結造良影響型同步輻射光束線采涸用渦旋油真空泵作前級真空泵作用相明顯另外渦旋油真空泵消酒除普通油泵漏油給用戶帶環(huán)境污染與煩惱 4.3渦旋油真空泵使系統(tǒng)制造與運行本降低:防止普通旋片油真空泵真空系統(tǒng)返油污染需要抽氣系統(tǒng)加冷阱捕獲油;系統(tǒng)運行程需要定期清洗除油;需要定期更換真空泵油采用渦旋油真空泵第需要加冷阱類捕油機構、第二需要換真空泵油、第三振更、運行更平穩(wěn)、第四能耗降低、第五重量更輕、第六突破油泵使用范圍限制使渦旋油真空泵普通旋片油真空泵更新?lián)Q代產品內半導體、電工業(yè)代表制造工藝科研究與析測試行業(yè)迫切需要油污染清潔真空環(huán)境清潔真空獲設備冷凝泵、柱奏泵、爪式泵、渦旋泵及隔膜泵等目前都沒形靠先進批量產產品進口渦旋油真空泵作種市場超3產品由于價格、市場拓用戶認識程度等原沒形良性循環(huán)面迫切市場需求另面價格與技術雙面看沒合適產品造極市場缺口 毫疑問價格適、性能靠渦旋油真空泵適合市場要求產品主流力發(fā)展旋油真空泵勢必行研制符合市場要求渦旋類及其油真空泵系列產品及其檢測技術手段真空獲行業(yè)進步發(fā)展契機 解決我科研究新材料、半導體等行業(yè)發(fā)展面臨技術手段存基礎、共性問題近已經(jīng)斷業(yè)內專家向內介紹渦旋油真空泵技術及其發(fā)展現(xiàn)狀外渦旋油真空泵產廠家與代理市場發(fā)使其市場銷量逐增
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